电子特气是电子特种气体的简称，Electronic Specialty Gases（ESG），属于特种气体的其中一类，特种气体与大宗气体并列，均属于工业气体。相比于传统工业气体，电子特气纯度更高，用途也更特殊，如半导体、平板显示及其它电子产品的生产过程中，电子特气都是不可或缺的关键性原材料，因此也有电子工业的“粮食”之称。

电子特气的品质由纯度和净度两个维度的标准来衡量。

纯度：5N-6N ，N 指纯度百分比中9的个数，例如6N 表示99.9999%。

净度 ：将金属元素净化到10-9级至10-12级。

纯度每提升一个N，金属杂质含量浓度每降低一个数量级，对生产工艺的考验都极其复杂，难度很大。

如果电子特气的纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成产品全部报废。

电子特气的生产工序

1.空气分离，将空气中各组成成分分开，以获得特种气体或大宗气体；

2.气体合成，原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，发生化学反应，生成气体粗产品；

3.气体纯化，通过精馏、吸附等方式将粗产品气体提炼为更高的纯度；

4.气体混配，将两种或两种以上有效气体按照特定比例混合，得到多组均匀分布的混合气体；

5.气体检测，对气体的成分进行分析、检测；

6.气瓶处理，根据载气性质及需求的不同，对气瓶内部、内壁表面及外观进行处理，以保证气体存储、运输过程中气体产品保持稳定；

7.气体充装，通过压力差将气体充入气瓶等压力容器。

生产过程中的主要设备有： 1.空气过滤器     2.空气压缩机    3.吸附塔     4.热交换器     5.精馏塔   6.脱硫槽   7.转化炉   8.中变炉   9.增压器   10.洗涤塔    11.干燥塔   12.蒸馏塔   13.混配系统    14.混配器   15.混均机   16.纯化器   17.分析仪器    18清洗机   19研磨抛光机    20.热氨气吹扫机   21检漏设备     22.烘干机    23.模压机    24.气化器   25.充装系统

主要用气点有：1.空气分离（提供空气原料）   2.气动阀门    3.压紧气缸   4.雾化喷嘴    5.吹扫    6.气动仪表    7.气力输送8.喷淋    9.气体增压   20.气体液化

电子特气的生产工艺中对压缩空气的要求

含油要求：0.01ppm             含尘要求：0.01μm             露点要求：-40℃（PDP）              排气压力：7bar

可以满足以上用气要求的空气压缩机

1.定频微油螺杆空压机       用于空气分离、气体合成；

2.变频无油螺杆空压机       用于气体纯化、气体混配；

3.离心式空气压縮机          用于气瓶处理、气体充瓶、气体增压、气体液化。